公布日：2023.10.24

申請日：2023.06.30

分類號：C02F1/48(2023.01)I;C02F103/34(2006.01)N

摘要

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體研磨廢水處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理設(shè)備及工藝，該設(shè)備包括帶有支撐柱的沉淀筒，所述沉淀筒的頂端連通有進(jìn)水管，所述沉淀筒的底端中心處通過密封軸承轉(zhuǎn)動連接有排污管，所述排污管的底端連通有排污閥，所述排污管的頂端外側(cè)開設(shè)有排污口，所述排污管的頂端外側(cè)固定連接有刮板，所述刮板與沉淀筒的底端內(nèi)側(cè)滑動連接，所述刮板的外緣位置設(shè)置有朝向轉(zhuǎn)動方向的卷曲，所述刮板與排污管的連接夾角為銳角，通過所述刮板的轉(zhuǎn)動使Fe3O4‑SiO2污泥向沉淀筒的底端中心處遷移，將混合液通過進(jìn)水管進(jìn)入到沉淀筒的內(nèi)側(cè)，在靜置一段時間之后，Fe3O4磁性顆粒與研磨廢水中的懸浮顆粒發(fā)生碰撞凝聚沉積在底部。

權(quán)利要求書

1.一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用的設(shè)備，其特征在于：該設(shè)備包括帶有支撐柱（1）的沉淀筒（3），所述沉淀筒（3）的頂端連通有進(jìn)水管（4），所述沉淀筒（3）的底端中心處通過密封軸承轉(zhuǎn)動連接有排污管（23），所述排污管（23）的底端連通有排污閥（26），所述排污管（23）的頂端外側(cè)開設(shè)有排污口（29），所述排污管（23）的頂端外側(cè)固定連接有刮板（30），所述刮板（30）與沉淀筒（3）的底端內(nèi)側(cè)滑動連接，所述刮板（30）的外緣位置設(shè)置有朝向轉(zhuǎn)動方向的卷曲（6），所述刮板（30）與排污管（23）的連接夾角為銳角，通過所述刮板（30）的轉(zhuǎn)動使Fe3O4SiO2污泥向沉淀筒（3）的底端中心處遷移；所述沉淀筒（3）的內(nèi)側(cè)中心處上下滑動設(shè)置有遮擋蓋（18），所述遮擋蓋（18）與刮板（30）同步旋轉(zhuǎn)，所述遮擋蓋（18）的底端開設(shè)有凹槽（20），所述凹槽（20）的位置和大小與刮板（30）的內(nèi)緣位置相對應(yīng)，凹槽（20）處設(shè)置橡膠密封件用于密封，所述遮擋蓋（18）和凹槽（20）向下運動與刮板（30）的內(nèi)緣吻合后，遮擋蓋（18）形成密封的空間，通過打開所述排污閥（26）實現(xiàn)對Fe3O4SiO2污泥的定量排出，該設(shè)備還包括水泵（17），所述水泵（17）的輸入端與沉淀筒（3）的底端內(nèi)側(cè)相連通。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用的設(shè)備，其特征在于：所述沉淀筒（3）的底端通過支撐桿（2）固定設(shè)置有外盤（5），所述外盤（5）的內(nèi)側(cè)邊緣距離外盤（5）中心處的距離沿著逆時針方向逐漸變小，所述排污管（23）的外側(cè)固定連接有第三限位桿（46），所述第三限位桿（46）的外側(cè)滑動連接有圓形的滑塊（28），所述第三限位桿（46）的外側(cè)設(shè)置有第二彈簧（45），所述第二彈簧（45）的兩端分別與排污管（23）的外側(cè)和滑塊（28）的外側(cè)固定連接，所述滑塊（28）的外側(cè)與外盤（5）內(nèi)側(cè)滑動連接，所述滑塊（28）的頂端固定連接有電磁鐵（31），所述電磁鐵（31）的頂端與沉淀筒（3）的底端滑動連接，所述沉淀筒（3）的底端由玻璃材質(zhì)制成，所述電磁鐵（31）能夠跟隨滑塊（28）沿著外盤（5）的內(nèi)側(cè)邊緣移動。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用的設(shè)備，其特征在于：所述外盤（5）的內(nèi)側(cè)邊緣距離外盤（5）中心的最近處設(shè)置有觸敏開關(guān)（44），所述觸敏開關(guān)（44）用于控制電磁鐵（31）的啟停。

4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用的設(shè)備，其特征在于：所述外盤（5）底端固定連接有電機(jī)（24），所述排污管（23）的外側(cè)固定連接有轉(zhuǎn)盤（27），所述轉(zhuǎn)盤（27）的上側(cè)呈齒環(huán)狀設(shè)置，所述電機(jī)（24）的主軸末端固定連接有齒輪（25），所述齒輪（25）與轉(zhuǎn)盤（27）的上側(cè)相嚙合。

5.如權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用的設(shè)備，其特征在于：所述排污管（23）的頂端轉(zhuǎn)動連接有螺桿（22），所述螺桿（22）的外側(cè)與遮擋蓋（18）的頂端內(nèi)側(cè)螺旋連接，所述螺桿（22）的頂端與沉淀筒（3）的內(nèi)壁固定連接，所述刮板（30）的頂端固定連接有第一限位桿（21），所述第一限位桿（21）的外側(cè)與遮擋蓋（18）的內(nèi)側(cè)滑動連接，所述遮擋蓋（18）的頂端設(shè)置有上出口單向閥（19）。

6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用的設(shè)備，其特征在于：該設(shè)備還包括外筒（9），所述外筒（9）的內(nèi)側(cè)固定連接有內(nèi)筒（43），所述內(nèi)筒（43）的一端與進(jìn)水管（4）的輸入端相連通，所述外筒（9）和內(nèi)筒（43）之間形成外腔（14），所述內(nèi)筒（43）內(nèi)側(cè)形成內(nèi)腔（15），所述內(nèi)筒（43）的一端內(nèi)側(cè)均勻的開設(shè)有混水管（32），所述混水管（32）將外腔（14）和內(nèi)腔（15）相連通，所述外筒（9）的外側(cè)固定連接有電動推桿（10），所述電動推桿（10）的活動端固定連接有連接板（11），所述連接板（11）的一端固定連接有外環(huán)活塞（12）和內(nèi)活塞（13），所述外環(huán)活塞（12）和內(nèi)活塞（13）分別與外腔（14）和內(nèi)腔（15）的內(nèi)側(cè)滑動連接，通過所述電動推桿（10）的伸縮實現(xiàn)沉淀筒（3）的進(jìn)水，所述外腔（14）和內(nèi)腔（15）分別通過單向進(jìn)水閥與廢水池（7）和Fe3O4懸浮液池（8）連通。

7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用的設(shè)備，其特征在于：所述混水管（32）向進(jìn)水管（4）的方向傾斜，所述混水管（32）在內(nèi)筒（43）的內(nèi)側(cè)逆時針傾斜，所述混水管（32）的內(nèi)側(cè)設(shè)置有階梯型的流通通道，所述混水管（32）的內(nèi)側(cè)固定連接有連接桿（33），所述混水管（32）的內(nèi)側(cè)滑動連接有堵球（35），所述連接桿（33）與堵球（35）之間固定連接有第一拉簧（34），所述堵球（35）能夠在第一拉簧（34）的拉力作用下將流通通道堵住。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用的設(shè)備，其特征在于：所述內(nèi)筒（43）的一端內(nèi)側(cè)滑動設(shè)置有滑筒（38），所述滑筒（38）能夠向左運動將混水管（32）的出口端堵住，所述滑筒（38）能夠向右運動將混水管（32）的出口端打開，所述內(nèi)筒（43）的一端內(nèi)側(cè)固定設(shè)置有限位塊（16）和限位環(huán)（41），所述滑筒（38）滑動設(shè)置在限位塊（16）和限位環(huán)（41）之間，所述滑筒（38）的內(nèi)側(cè)固定連接有固定桿（47），所述固定桿（47）的一端固定連接有第二限位桿（37），所述第二限位桿（37）的外側(cè)滑動連接有堵頭（39），所述堵頭（39）呈錐形狀設(shè)置，所述第二限位桿（37）的外側(cè)設(shè)置有第二拉簧（36），所述第二拉簧（36）的兩端分別與堵頭（39）的一端和第二限位桿（37）的一端固定連接，所述限位環(huán)（41）與堵頭（39）的另一端之間固定連接有第一彈簧（40）。

9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用的設(shè)備，其特征在于：所述堵頭（39）上均勻的開設(shè)有滑槽（42），所述滑槽（42）呈逆時針設(shè)置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用的設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的“在采用磁種絮凝法進(jìn)行沉淀凝聚的過程中，Fe3O4SiO2污泥會在重力以及磁力作用下沉積在底層，上層出現(xiàn)處理后的澄清液，將澄清液與底部進(jìn)行Fe3O4SiO2污泥進(jìn)行分離，可以獲得處理后的污水，因為上層澄清液與Fe3O4SiO2污泥存在模糊不清的臨界面，分離時，如果對上層澄清液進(jìn)行完全分離，臨界面處的膠狀Fe3O4SiO2污泥與上側(cè)污水會因為水的粘帶作用被帶離，造成上層澄清液的二次污染”的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝，其步驟在于；

步驟1；通過共沉淀法制備Fe3O4磁性顆粒，得到納米Fe3O4磁性顆粒；

步驟2；按照3：100的份量比將納米Fe3O4磁性顆粒與水混合，得到Fe3O4懸浮液；

步驟3；按照1：5的分量比將Fe3O4懸浮液與研磨廢水進(jìn)行混合，得到混合液；

步驟4；將混合液靜置沉淀，分離澄清液和Fe3O4SiO2污泥。

作為本發(fā)明一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用設(shè)備優(yōu)選的，該設(shè)備包括帶有支撐柱的沉淀筒，所述沉淀筒的頂端連通有進(jìn)水管，所述沉淀筒的底端中心處通過密封軸承轉(zhuǎn)動連接有排污管，所述排污管的底端連通有排污閥，所述排污管的頂端外側(cè)開設(shè)有排污口，所述排污管的頂端外側(cè)固定連接有刮板，所述刮板與沉淀筒的底端內(nèi)側(cè)滑動連接，所述刮板的外緣位置設(shè)置有朝向轉(zhuǎn)動方向的卷曲，所述刮板與排污管的連接夾角為銳角，通過所述刮板的轉(zhuǎn)動使Fe3O4SiO2污泥向沉淀筒的底端中心處遷移；

在上述設(shè)置下，本發(fā)明使用時，將混合液通過進(jìn)水管進(jìn)入到沉淀筒的內(nèi)側(cè)，在靜置一段時間之后，Fe3O4磁性顆粒與研磨廢水中的懸浮顆粒發(fā)生碰撞凝聚沉積在底部，使排污管以較為緩慢的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動，排污管的轉(zhuǎn)動帶動刮板進(jìn)行轉(zhuǎn)動，因為刮板與排污管的連接處為銳角，刮板的轉(zhuǎn)動會帶動Fe3O4SiO2污泥向沉淀筒的底端中心處遷移；刮板的外緣位置設(shè)置有朝向轉(zhuǎn)動方向的卷曲，因為此處的刮板運動線速度較快，設(shè)置的卷曲能夠起到對Fe3O4SiO2污泥進(jìn)行包裹的作用，防止Fe3O4SiO2污泥被干擾流動到上處；

同時的，在刮板的轉(zhuǎn)動過程中，刮板還會同步帶動第一限位桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動，第一限位桿的轉(zhuǎn)動會帶動遮擋蓋進(jìn)行轉(zhuǎn)動，在螺桿的配合下，隨著刮板的轉(zhuǎn)動，遮擋蓋同步緩慢下降，遮擋蓋下降能夠?qū)⑾蛑行奶庍w移的Fe3O4SiO2污泥罩住，設(shè)置的凹槽向下運動后與刮板的內(nèi)緣相吻合，遮擋蓋內(nèi)部形成密封的空間；然后打開排污閥實現(xiàn)對Fe3O4SiO2污泥的定量排出，可以在排污閥下側(cè)設(shè)置收集筒，實現(xiàn)對Fe3O4SiO2污泥的收集，便于實現(xiàn)重復(fù)利用；遮擋蓋外側(cè)的澄清水會被水泵抽走，從而避免了上層澄清液與Fe3O4SiO2污泥存在模糊不清的臨界面，分離時，如果對上層澄清液進(jìn)行完全分離，臨界面處的膠狀Fe3O4SiO2污泥與上側(cè)污水會因為水的粘帶作用被帶離，造成上層澄清液的二次污染的問題，從而實現(xiàn)對半導(dǎo)體研磨廢水的處理，便于半導(dǎo)體回收廢水的回收使用；

所述沉淀筒的內(nèi)側(cè)中心處上下滑動設(shè)置有遮擋蓋，所述遮擋蓋與刮板同步旋轉(zhuǎn)，所述遮擋蓋的底端開設(shè)有凹槽，所述凹槽的位置和大小與刮板的內(nèi)緣位置相對應(yīng)，凹槽處設(shè)置橡膠密封件用于密封，所述遮擋蓋和凹槽向下運動與刮板的內(nèi)緣吻合后，遮擋蓋形成密封的空間，通過打開所述排污閥實現(xiàn)對Fe3O4SiO2污泥的定量排出，該設(shè)備還包括水泵，所述水泵的輸入端與沉淀筒的底端內(nèi)側(cè)相連通。

作為本發(fā)明一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用設(shè)備優(yōu)選的，所述沉淀筒的底端通過支撐桿固定設(shè)置有外盤，所述外盤的內(nèi)側(cè)邊緣距離外盤中心處的距離沿著逆時針方向逐漸變小，所述排污管的外側(cè)固定連接有第三限位桿，所述第三限位桿的外側(cè)滑動連接有圓形的滑塊，所述第三限位桿的外側(cè)設(shè)置有第二彈簧，所述第二彈簧的兩端分別與排污管的外側(cè)和滑塊的外側(cè)固定連接，所述滑塊的外側(cè)與外盤內(nèi)側(cè)滑動連接，所述滑塊的頂端固定連接有電磁鐵，所述電磁鐵的頂端與沉淀筒的底端滑動連接，所述沉淀筒的底端由玻璃材質(zhì)制成，所述電磁鐵能夠跟隨滑塊沿著外盤的內(nèi)側(cè)邊緣移動。

在上述設(shè)置下，為了增加Fe3O4SiO2污泥的沉淀效果和便于Fe3O4SiO2污泥向沉淀筒的底端中心處遷移，本發(fā)明還在沉淀筒的底端設(shè)置可在第三限位桿外側(cè)自由滑動的電磁鐵，電磁鐵對Fe3O4SiO2污泥產(chǎn)生向下的吸附力，使Fe3O4SiO2污泥下沉，電磁鐵在跟隨排污管轉(zhuǎn)動的過程中，還會在外盤的內(nèi)側(cè)作用下將Fe3O4SiO2污泥帶向沉淀筒的底端中心處，從而增加遮擋蓋對Fe3O4SiO2污泥的覆蓋效果，增加Fe3O4SiO2污泥的排出效果；當(dāng)電磁鐵滑動到觸敏開關(guān)處時，會短暫斷電，消除磁力，隨著電磁鐵的持續(xù)轉(zhuǎn)動，當(dāng)電磁鐵滑過觸敏開關(guān)后，第二彈簧用于電磁鐵向內(nèi)運動后的復(fù)位，電磁鐵重新通電，實現(xiàn)持續(xù)的吸附和帶動Fe3O4SiO2污泥遷移的作用；

作為本發(fā)明一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用設(shè)備優(yōu)選的，所述外盤的內(nèi)側(cè)邊緣距離外盤中心的最近處設(shè)置有觸敏開關(guān)，所述觸敏開關(guān)用于控制電磁鐵的啟停。

作為本發(fā)明一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用設(shè)備優(yōu)選的，所述外盤底端固定連接有電機(jī)，所述排污管的外側(cè)固定連接有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤的上側(cè)呈齒環(huán)狀設(shè)置，所述電機(jī)的主軸末端固定連接有齒輪，所述齒輪與轉(zhuǎn)盤的上側(cè)相嚙合。

在上述設(shè)置下，本發(fā)明中排污管的轉(zhuǎn)動方式為，電機(jī)帶動齒輪轉(zhuǎn)動，齒輪的轉(zhuǎn)動帶動轉(zhuǎn)盤和排污管轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)對排污管的轉(zhuǎn)動；

作為本發(fā)明一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用設(shè)備優(yōu)選的，所述排污管的頂端轉(zhuǎn)動連接有螺桿，所述螺桿的外側(cè)與遮擋蓋的頂端內(nèi)側(cè)螺旋連接，所述螺桿的頂端與沉淀筒的內(nèi)壁固定連接，所述刮板的頂端固定連接有第一限位桿，所述第一限位桿的外側(cè)與遮擋蓋的內(nèi)側(cè)滑動連接，所述遮擋蓋的頂端設(shè)置有上出口單向閥，設(shè)置的上出口單向閥，便于遮擋蓋向下運動時其內(nèi)部液體的排出，減少遮擋蓋向下運動時產(chǎn)生的紊流，便于Fe3O4SiO2污泥的沉淀。

作為本發(fā)明一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用設(shè)備優(yōu)選的，該設(shè)備還包括外筒，所述外筒的內(nèi)側(cè)固定連接有內(nèi)筒，所述內(nèi)筒的一端與進(jìn)水管的輸入端相連通，所述外筒和內(nèi)筒之間形成外腔，所述內(nèi)筒內(nèi)側(cè)形成內(nèi)腔，所述內(nèi)筒的一端內(nèi)側(cè)均勻的開設(shè)有混水管，所述混水管將外腔和內(nèi)腔相連通，所述外筒的外側(cè)固定連接有電動推桿，所述電動推桿的活動端固定連接有連接板，所述連接板的一端固定連接有外環(huán)活塞和內(nèi)活塞，所述外環(huán)活塞和內(nèi)活塞分別與外腔和內(nèi)腔的內(nèi)側(cè)滑動連接，通過所述電動推桿的伸縮實現(xiàn)沉淀筒的進(jìn)水，所述外腔和內(nèi)腔分別通過單向進(jìn)水閥與廢水池和Fe3O4懸浮液池連通。

在上述設(shè)置下，本發(fā)明中的外筒和內(nèi)筒等結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)Fe3O4懸浮液和廢水的比例混合，并在進(jìn)水管的進(jìn)料時，實現(xiàn)均勻的同步混合，減少了后續(xù)的攪拌操作，節(jié)省了設(shè)備成本；

本發(fā)明上料時，通過電動推桿的往復(fù)運動實現(xiàn)，電動推桿的活動端向左運動時，設(shè)置的外腔和內(nèi)腔分別向廢水池和Fe3O4懸浮液池進(jìn)行抽水，電動推桿的活動端向右運動時，設(shè)置的外腔和內(nèi)腔內(nèi)的水會同步由進(jìn)水管進(jìn)入到沉淀筒的內(nèi)側(cè)；在抽水時，混水管的出口端被滑筒關(guān)閉，防止外腔內(nèi)的水進(jìn)入到內(nèi)腔，排水時，滑筒在壓力的作用下向右運動，混水管的出口端被打開，實現(xiàn)外腔和內(nèi)腔內(nèi)水的混合；

作為本發(fā)明一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用設(shè)備優(yōu)選的，所述混水管向進(jìn)水管的方向傾斜，所述混水管在內(nèi)筒的內(nèi)側(cè)逆時針傾斜，所述混水管的內(nèi)側(cè)設(shè)置有階梯型的流通通道，所述混水管的內(nèi)側(cè)固定連接有連接桿，所述混水管的內(nèi)側(cè)滑動連接有堵球，所述連接桿與堵球之間固定連接有第一拉簧，所述堵球能夠在第一拉簧的拉力作用下將流通通道堵住。

在上述設(shè)置下，混水管向進(jìn)水管的方向傾斜，所述混水管在內(nèi)筒的內(nèi)側(cè)逆時針傾斜，使得混水管流出的水沿著混水管的傾斜方向帶有一定的旋轉(zhuǎn)初始力，從而增加外腔和內(nèi)腔內(nèi)水混合的效果，實現(xiàn)初次混合；

堵球、連接桿和第一拉簧的設(shè)置可以起到“單向閥”的作用，使混水管只能出水，不能進(jìn)水；

作為本發(fā)明一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用設(shè)備優(yōu)選的，所述內(nèi)筒的一端內(nèi)側(cè)滑動設(shè)置有滑筒，所述滑筒能夠向左運動將混水管的出口端堵住，所述滑筒能夠向右運動將混水管的出口端打開，所述內(nèi)筒的一端內(nèi)側(cè)固定設(shè)置有限位塊和限位環(huán)，所述滑筒滑動設(shè)置在限位塊和限位環(huán)之間，所述滑筒的內(nèi)側(cè)固定連接有固定桿，所述固定桿的一端固定連接有第二限位桿，所述第二限位桿的外側(cè)滑動連接有堵頭，所述堵頭呈錐形狀設(shè)置，所述第二限位桿的外側(cè)設(shè)置有第二拉簧，所述第二拉簧的兩端分別與堵頭的一端和第二限位桿的一端固定連接，所述限位環(huán)與堵頭的另一端之間固定連接有第一彈簧。

在上述設(shè)置下，設(shè)置的限位塊和限位環(huán)用于實現(xiàn)對滑筒位置的限制，排水時，堵頭受壓力向右運動，滑筒右端被打開，被初次混合的水由堵頭的表面流過，在滑槽的作用下，再次反方向旋轉(zhuǎn)，從而進(jìn)一步增加混合效果，并實現(xiàn)二次混合；設(shè)置的第一彈簧用于滑筒向左側(cè)的及時復(fù)位，在抽水時，及時將混水管的出口處擋�。�

作為本發(fā)明一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理工藝所使用設(shè)備優(yōu)選的，所述堵頭上均勻的開設(shè)有滑槽，所述滑槽呈逆時針設(shè)置。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

1、該一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理設(shè)備，本發(fā)明使用時，將混合液通過進(jìn)水管進(jìn)入到沉淀筒的內(nèi)側(cè)，在靜置一段時間之后，Fe3O4磁性顆粒與研磨廢水中的懸浮顆粒發(fā)生碰撞凝聚沉積在底部，使排污管以較為緩慢的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動，排污管的轉(zhuǎn)動帶動刮板進(jìn)行轉(zhuǎn)動，因為刮板與排污管的連接處為銳角，刮板的轉(zhuǎn)動會帶動Fe3O4SiO2污泥向沉淀筒的底端中心處遷移；刮板的外緣位置設(shè)置有朝向轉(zhuǎn)動方向的卷曲，因為此處的刮板運動線速度較快，設(shè)置的卷曲能夠起到對Fe3O4SiO2污泥進(jìn)行包裹的作用，防止Fe3O4SiO2污泥被干擾流動到上處。

2、該一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理設(shè)備，在刮板的轉(zhuǎn)動過程中，刮板還會同步帶動第一限位桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動，第一限位桿的轉(zhuǎn)動會帶動遮擋蓋進(jìn)行轉(zhuǎn)動，在螺桿的配合下，隨著刮板的轉(zhuǎn)動，遮擋蓋同步緩慢下降，遮擋蓋下降能夠?qū)⑾蛑行奶庍w移的Fe3O4SiO2污泥罩住，設(shè)置的凹槽向下運動后與刮板的內(nèi)緣相吻合，遮擋蓋內(nèi)部形成密封的空間；然后打開排污閥實現(xiàn)對Fe3O4SiO2污泥的定量排出，可以在排污閥下側(cè)設(shè)置收集筒，實現(xiàn)對Fe3O4SiO2污泥的收集，便于實現(xiàn)重復(fù)利用；遮擋蓋外側(cè)的澄清水會被水泵抽走，從而避免了上層澄清液與Fe3O4SiO2污泥存在模糊不清的臨界面，分離時，如果對上層澄清液進(jìn)行完全分離，臨界面處的膠狀Fe3O4SiO2污泥與上側(cè)污水會因為水的粘帶作用被帶離，造成上層澄清液的二次污染的問題，從而實現(xiàn)對半導(dǎo)體研磨廢水的處理，便于半導(dǎo)體回收廢水的回收使用。

3、該一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理設(shè)備，為了增加Fe3O4SiO2污泥的沉淀效果和便于Fe3O4SiO2污泥向沉淀筒的底端中心處遷移，本發(fā)明還在沉淀筒的底端設(shè)置可在第三限位桿外側(cè)自由滑動的電磁鐵，電磁鐵對Fe3O4SiO2污泥產(chǎn)生向下的吸附力，使Fe3O4SiO2污泥下沉，電磁鐵在跟隨排污管轉(zhuǎn)動的過程中，還會在外盤的內(nèi)側(cè)作用下將Fe3O4SiO2污泥帶向沉淀筒的底端中心處，從而增加遮擋蓋對Fe3O4SiO2污泥的覆蓋效果，增加Fe3O4SiO2污泥的排出效果；當(dāng)電磁鐵滑動到觸敏開關(guān)處時，會短暫斷電，消除磁力，隨著電磁鐵的持續(xù)轉(zhuǎn)動，當(dāng)電磁鐵滑過觸敏開關(guān)后，第二彈簧用于電磁鐵向內(nèi)運動后的復(fù)位，電磁鐵重新通電，實現(xiàn)持續(xù)的吸附和帶動Fe3O4SiO2污泥遷移的作用。

4、該一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理設(shè)備，本發(fā)明中的外筒和內(nèi)筒等結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)Fe3O4懸浮液和廢水的比例混合，并在進(jìn)水管的進(jìn)料時，實現(xiàn)均勻的同步混合，減少了后續(xù)的攪拌操作，節(jié)省了設(shè)備成本；本發(fā)明上料時，通過電動推桿的往復(fù)運動實現(xiàn)，電動推桿的活動端向左運動時，設(shè)置的外腔和內(nèi)腔分別向廢水池和Fe3O4懸浮液池進(jìn)行抽水，電動推桿的活動端向右運動時，設(shè)置的外腔和內(nèi)腔內(nèi)的水會同步由進(jìn)水管進(jìn)入到沉淀筒的內(nèi)側(cè)；在抽水時，混水管的出口端被滑筒關(guān)閉，防止外腔內(nèi)的水進(jìn)入到內(nèi)腔，排水時，滑筒在壓力的作用下向右運動，混水管的出口端被打開，實現(xiàn)外腔和內(nèi)腔內(nèi)水的混合。

5、該一種半導(dǎo)體超純水循環(huán)使用的研磨廢水處理設(shè)備，混水管向進(jìn)水管的方向傾斜，所述混水管在內(nèi)筒的內(nèi)側(cè)逆時針傾斜，使得混水管流出的水沿著混水管的傾斜方向帶有一定的旋轉(zhuǎn)初始力，從而增加外腔和內(nèi)腔內(nèi)水混合的效果，實現(xiàn)初次混合，設(shè)置的限位塊和限位環(huán)用于實現(xiàn)對滑筒位置的限制，排水時，堵頭受壓力向右運動，滑筒右端被打開，被初次混合的水由堵頭的表面流過，在滑槽的作用下，再次反方向旋轉(zhuǎn)，從而進(jìn)一步增加混合效果，并實現(xiàn)二次混合；設(shè)置的第一彈簧用于滑筒向左側(cè)的及時復(fù)位，在抽水時，及時將混水管的出口處擋住。

（發(fā)明人：張永健;謝海;孫佳君;張家暉）